1、洁净度等级，2、室内平衡措施，3、温湿度要求，4、机器设备之必要性，5、确定生产流程，6、局部排气之必要性，7、日后扩充弹性，8、足够维护保养空间，9、空调送风方式，10、员工休息区之安排，11、设施与动力之配置，12、室内净高与楼板载重，13、设备空间与管道间，14、门窗宜少，气密性要佳，15、静电、振动及噪音，16、生产线与活动线少交，17、公害、污染与防灾，18、安装及运转成本之衡量。